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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种石墨烯芯片加工用设备
| 申请号 | CN202021249816.5 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2020-06-30 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2021-02-23 | 公开号 | CN212587458U |
| 发明人/设计人 | 林*伟 | 权利人 | 林*伟 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型公开了一种石墨烯芯片加工用设备，其结构包括：密封防护盖板、卷膜放置架、贴膜机主体、控制面板、晶圆放置台，还包括负压覆膜装置，贴膜机主体为矩形结构，密封防护盖板处于贴膜机主体上方，密封防护盖板通过转轴与贴膜机主体活动链接，卷膜放置架安设于贴膜机主体后方，晶圆放置台水平安装于贴膜机主体内部，控制面板嵌套于贴膜机主体上表面，负压覆膜装置处于贴膜机主体内的晶圆放置台的上方，本实用新型通过设有负压覆膜装置，在对晶圆片进行贴膜时，在晶圆片与贴膜的连接处形成负压，进而促进贴膜与晶圆片快速贴合，同时有效的避免气泡产生，提高贴膜质量。
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