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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种空心纳米球阵列传感器的制备方法
| 申请号 | CN201810573330.8 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2018-06-06 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2018-12-21 | 公开号 | CN109060897A |
| 发明人/设计人 | 邵**鑫 | 权利人 | 南**学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
一种空心纳米球阵列传感器的制备方法，包括如下步骤：(a)衬底基材预处理；(b)光刻蚀法对预处理的硅衬底进行加工；(c)正丙醇中清洗、通氮气干燥；(d)选取Ti作为附着层，Au作为检测电极，采用辉光真空镀膜方法对干燥后的样品进行检测电极沉积；(e)通过剥离技术去除步样品表面残余的光刻胶；(f)制备溶胶溶液，对干燥后的样品衬底进行旋涂制膜；(g)对样品先进行后置热蒸水热处理，然后通氮气保护进行焙烧，制备传感材料与器件一体的气体传感器。本发明把握有害气体分子(SO2)检测技术与应用技术创新的平衡点，实现材料制备与器件集成相统一，提升传感器对SO2的特征识别能力以及对响应信号的快速提取和增强能力。
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