一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法

本发明公开了一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法，固体激光器、第一透镜、第二透镜、空间滤波器、偏振片、半波片、偏振分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、四分之一波片、会聚透镜、物镜、被测反射面和同步偏振相机均设置在抗震平台上，固体激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、偏振片、半波片、偏振分光棱镜和第二反射镜沿垂直于偏振分光棱镜一面的直线方向依次设置，第一反射镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、会聚透镜、物镜和被测反射面沿垂直于偏振分光棱镜相邻另一面的直线方向依次设置，同步偏振相机设置在被测反射面的反射方向上，空间滤波器位于第一透镜的像方焦平面上。本发明具有快速、高效和精确检测的优点。