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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法
| 申请号 | CN201310524956.7 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2013-10-31 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2015-11-18 | 公开号 | CN103528735B |
| 发明人/设计人 | 葛**莉 | 权利人 | 南**学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中，光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行，大大提高了测量精度。
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