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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法
申请号 | CN201610377095.8 | 分类号 | |
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申请日期 | 2016-05-31 | 有效期 | |
公开日期 | 2019-02-01 | 公开号 | CN106086795B |
发明人/设计人 | 咸**敏 | 权利人 | 南**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法,采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜,不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法,可以实现高于600nm的可见光吸收,而且和粉体相比,在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀,具有明显的可见光响应,带隙达到1.6eV。
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