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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
多层复合敏感膜光纤氢气传感探头及其制作方法
| 申请号 | CN201110038891.6 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2011-02-16 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2013-02-06 | 公开号 | CN102175619B |
| 发明人/设计人 | 杨**芸 | 权利人 | 武*学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
一种多层复合敏感膜光纤氢气传感探头及其制作方法。该探头由镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)与具有同样中心波长、但没有镀膜的参考光栅(5)对接熔接构成；所述的镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)，由经过侧边抛磨处理的光纤光栅上采用磁控溅射镀SiO2薄膜(13)、再镀SiO2和Pd的混合膜(14)、然后再镀Pd薄膜(15)构成；所述的SiO2薄膜厚度为1-100nm，SiO2和Pd的混合膜厚度为1-100nm，Pd薄膜厚度为10nm-20μm。其制法是将对氢气敏感的薄膜与抗电磁干扰D型光纤光栅结合起来形成光纤氢气传感器探头。采用磁控溅射、热处理和温度补偿技术，使传感器的准确性和灵敏度得到极大地提高，并且传感探头体积大大减小，有利于实现光纤氢气传感器的微型化。
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