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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种自动对准移动掩模光刻机
申请号 | CN202120084852.9 | 分类号 | |
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申请日期 | 2021-01-13 | 有效期 | |
公开日期 | 2021-12-24 | 公开号 | CN215297940U |
发明人/设计人 | 陈*相 | 权利人 | 陈*相 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种自动对准移动掩模光刻机,包括基台、硅片台、支撑柱、掩膜版滑台、成像光刻透镜、滑轨、移动承载台、紧固把手、紫光透镜、紫光光源和掩膜版,所述基台的上表面活动安装有硅片台,所述基台上表面的两侧均连接有支撑柱,所述支撑柱的上端安装有掩膜版滑台,所述掩膜版滑台的中部位置开设有成像孔,所述掩膜版滑台的两侧开设有滑轨。该自动对准移动掩模光刻机,通过在掩膜版滑台上设置有活动安装的移动承载台,整体通过简单便捷的安装操作,使多个掩膜版均可稳定可靠的固定在掩膜版凹槽内,使掩膜版自动对准到方便进行光刻操作的位置,提升了光刻机的工作效率,减轻了工作人员的工作负担。
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