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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
光阻液烘烤装置
申请号 | CN201922334841.7 | 分类号 | |
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申请日期 | 2019-12-24 | 有效期 | |
公开日期 | 2020-08-25 | 公开号 | CN211348995U |
发明人/设计人 | 不*人 | 权利人 | 刘** |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型公开了光阻液烘烤装置,包括烘烤箱体,所述烘烤箱体正面开设有密封门,所述烘烤箱体的下表面安装有多个支撑腿,所述烘烤箱体包括位于其顶部的顶盖板,所述烘烤箱体的内底壁为倾斜型漏斗状,所述烘烤箱体的下表面固定连接有连通其内部的清理管,所述烘烤箱体的内侧壁嵌设有轴承圈。该光阻液烘烤装置,采用脱水热风机将空气加热,并去除空气中的水分子,将热气输送至烘烤箱体内部来对产品表面的光阻液进行烘干,使其固化,采用驱动电机带动整体分流圆环管转动,使热气均匀的对转动架上表面的产品进行烘干,采用热气烘干的好处在于热介质空气与产品为包裹式接触,使其由外向内均匀干燥,避免光阻缺点的产生。
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